旁通式质量流量控制器，采用半导体传感器技术，额定流量20SCCM至50SLM，精度高，响应快。
1.满量程范围：20SCCM~50SLM。
2.稳定时间：小于300毫秒。
3.精度：满量程的±1%。
4.线性度：满量程的±1%。
5.量程比：1：50，可按需提供1：500。
6.最高工作压力：10bar，取决于应用。
7.保护等级：IP65。
8.连接口：G1/4，NPT1/4。
9.模拟信号传送或数字通讯（RS232、RS485、现场总线）。
10.电源：24V DC。
11.功率：最大10W。
12外形尺寸：115x137.5x37mm
13不锈钢本体